Παρακαλώ χρησιμοποιήστε αυτό το αναγνωριστικό για να παραπέμψετε ή να δημιουργήσετε σύνδεσμο προς αυτό το τεκμήριο:
https://hdl.handle.net/10442/7592
| Εξειδίκευση τύπου : | Κεφάλαιο σε πρακτικά συνεδρίου |
| Τίτλος: | Ανάπτυξη πολυστρωματικής δομής Ta/TaOx/Ta με παλμική εναπόθεση με laser |
| Δημιουργός/Συγγραφέας: | Βακάκης, Ν.
Μπασιώτης, Ι.
Γιαννουδάκος, Α.
Ρουμπάνη-Καλατζοπούλου, Φ.
[EL] Κομπίτσας, Μιχάλης[EN] Kompitsas, Michael G. |
| Ημερομηνία: | 2005 |
| Γλώσσα: | Ελληνικά |
| Περίληψη: | Χρησιμοποιώντας την τεχνική της παλμικής εναπόθεσης με laser (Pulsed Laser Deposition, PLD), αναπτύσσονται υμένια τανταλίου (Ta), οξειδίου του τανταλίου και πολυστρωματικές δομές (Ta-TaOx-Ta) σε αντιδραστήρα υψηλού κενού ή σε περιβάλλον χαμηλής πίεσης O2. Χρησιμοποιήθηκε ακτινοβολία laser σε διάφορα μήκη κύματος και σε διάφορες πυκνότητες ενέργειας για τη φωτοαποδόμηση του στέρεου στόχου (Ta). Η εναπόθεση των συστατικών του παραγόμενου πλάσματος γίνεται σε υπόστρωμα υάλου σε θερμοκρασία δωματίου. Γίνεται χαρακτηρισμός της δομής τους με περίθλαση ακτίνων Χ, ενώ η επιφανειακή μορφολογία τους εξετάζεται με Ηλεκτρονική Μικροσκοπία Σάρωσης (SEM), και Μικροσκοπία Ατομικής Δύναμης (AFM). |
| Όνομα εκδήλωσης: | 5ο Πανελλήνιο Επιστημονικό Συνέδριο Χημικής Μηχανικής |
| Ημ/νία έναρξης εκδήλωσης : | 2005-05-26 |
| Ημ/νία λήξης εκδήλωσης : | 2005-05-28 |
| Τόπος εκδήλωσης: | Θεσσαλονίκη |
| Τίτλος πηγής δημοσίευσης: | 5ο Πανελλήνιο Επιστημονικό Συνέδριο Χημικής Μηχανικής, Θεσσαλονίκη 26-28 Μαΐου, 2005 |
| Σελίδες: | 1133-1136 |
| Θεματική Κατηγορία: | [EL] Φυσική και θεωρητική χημεία[EN] Physical and theoretical chemistry |
| Λέξεις-Κλειδιά: | Χημική μηχανική
Ακτίνες λέιζερ |
| Αξιολόγηση από ομότιμους (peer reviewed): | Ναι |
| Σημειώσεις: | Κατάσταση τεκμηρίου: Δημοσιευμένο
Document status: Published |
| Εμφανίζεται στις συλλογές: | Ινστιτούτο Θεωρητικής και Φυσικής Χημείας (ΙΘΦΧ) - Επιστημονικό έργο
|
Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο:
Το πλήρες κείμενο αυτού του τεκμηρίου δεν διατίθεται προς το παρόν από τον ΗΛΙΟ.
