TY - JOUR ID - 10442/6319 A1 - Drazic, G. A1 - A1 - Sarantopoulou, E. A1 - A1 - Kobe, S. A1 - A1 - Kollia, Z. A1 - A1 - Cefalas, A. C. Y1 - 2002/// T1 - X-ray microanalysis of optical materials for 157nm photolithography JF - Crystal Engineering VL - 5 IS - 3–4 SN - 1463-0184 U3 - 10.1016/s1463-0184(02)00044-8 PB - Pergamon-Elsevier Science Limited SP - 327–334EP - UR - https://hdl.handle.net/10442/6319 ER -