Παρακαλώ χρησιμοποιήστε αυτό το αναγνωριστικό για να παραπέμψετε ή να δημιουργήσετε σύνδεσμο προς αυτό το τεκμήριο:
https://hdl.handle.net/10442/7051
[1]
E. Sarantopoulou et al., “The challenges of 157 nm nanolithography: surface morphology of silicon-based copolymers,” Materials Science & Engineering C, vol. 23, no. 6–8, pp. 995–999, 2003.
Εξειδίκευση τύπου : | Άρθρο σε επιστημονικό περιοδικό |
Τίτλος: | The challenges of 157 nm nanolithography: surface morphology of silicon-based copolymers |
Δημιουργός/Συγγραφέας: | [EL] Σαραντοπούλου, Ευαγγελία[EN] Sarantopoulou, Evangelia![]() [EL] Κόλλια, Ζωή[EN] Kollia, Zoe ![]() Kocevar, K. Musevic, I. Kobe, S. Drazic, G. Gogolides, E. Argitis, P. [EL] Κεφαλάς, Αλκιβιάδης Κωνσταντίνος[EN] Cefalas, Alciviadis Constantinos ![]() |
Εκδότης: | Elsevier BV |
Ημερομηνία: | 2003 |
Γλώσσα: | Αγγλικά |
ISSN: | 0928-4931 |
DOI: | 10.1016/j.msec.2003.09.072 |
Τίτλος πηγής δημοσίευσης: | Materials Science & Engineering C |
Τόμος/Κεφάλαιο: | 23 |
Τεύχος: | 6-8 |
Σελίδες: | 995-999 |
Αξιολόγηση από ομότιμους (peer reviewed): | Ναι |
Ηλεκτρονική διεύθυνση περιοδικού (link) : | http://www.sciencedirect.com/science/journal/09284931 |
Σημειώσεις: | Ερευνητικη ομάδα ΕΙΕ: Φωτονική για Νανοεφαρμογές Ερευνητικη ομάδα ΕΙΕ: Photonics for Nanoapplications |
Εμφανίζεται στις συλλογές: | Ινστιτούτο Θεωρητικής και Φυσικής Χημείας (ΙΘΦΧ) - Επιστημονικό έργο |
Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο:
Αρχείο | Περιγραφή | Σελίδες | Μέγεθος | Μορφότυπος | Έκδοση | Άδεια | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
7051.pdf Restricted Access | 480.04 kB | Adobe PDF | Δημοσιευμένη/του Εκδότη | ![]() | ![]() Δείτε/ανοίξτε |