Παρακαλώ χρησιμοποιήστε αυτό το αναγνωριστικό για να παραπέμψετε ή να δημιουργήσετε σύνδεσμο προς αυτό το τεκμήριο:
https://hdl.handle.net/10442/7051
| Εξειδίκευση τύπου : | Άρθρο σε επιστημονικό περιοδικό |
| Τίτλος: | The challenges of 157 nm nanolithography: surface morphology of silicon-based copolymers |
| Δημιουργός/Συγγραφέας: | [EL] Σαραντοπούλου, Ευαγγελία[EN] Sarantopoulou, Evangelia
[EL] Κόλλια, Ζωή[EN] Kollia, Zoe
Kocevar, K.
Musevic, I.
Kobe, S.
Drazic, G.
Gogolides, E.
Argitis, P.
[EL] Κεφαλάς, Αλκιβιάδης Κωνσταντίνος[EN] Cefalas, Alciviadis Constantinos |
| Εκδότης: | Elsevier BV |
| Ημερομηνία: | 2003 |
| Γλώσσα: | Αγγλικά |
| ISSN: | 0928-4931 |
| DOI: | 10.1016/j.msec.2003.09.072 |
| Τίτλος πηγής δημοσίευσης: | Materials Science & Engineering C |
| Τόμος/Κεφάλαιο: | 23 |
| Τεύχος: | 6-8 |
| Σελίδες: | 995-999 |
| Αξιολόγηση από ομότιμους (peer reviewed): | Ναι |
| Ηλεκτρονική διεύθυνση περιοδικού (link) : | http://www.sciencedirect.com/science/journal/09284931 |
| Σημειώσεις: | Ερευνητικη ομάδα ΕΙΕ: Φωτονική για Νανοεφαρμογές
Ερευνητικη ομάδα ΕΙΕ: Photonics for Nanoapplications |
| Εμφανίζεται στις συλλογές: | Ινστιτούτο Θεωρητικής και Φυσικής Χημείας (ΙΘΦΧ) - Επιστημονικό έργο
|
